Sachverständigenbüro Dr. Kelman

Rasterelektronenemikroskopie (REM)

Als Vorteil des REM werden auch die Parameter eines räumlichen Gefühls (Oberflächentopographie, Bruchoberflächentopographie) ausgenützt:

 
  • Hohe Schärfentiefe
  • Kanteneffekte
  • Rauigkeitskontrast
  • Schattenkontraste

Dazu tragen auch die Materialeigenschaften bei: Materialkontrast und Kristallorientierungskontrast.

Diese Untersuchungsmethode eignet sich vor allem für Metalle und elektrisch leitende Oberflächen, jedoch auch nichtmetallische Oberflächen können durch Besputtern (C, Au) leitend gemacht werden.


Materialanalyse mit Rasterelektronenemikroskopie (REM/EDX - Analyse)

Die erzeugte charakteristische Röntgestrahlung ist elementspezifisch und wird zur Analyse der anwesenden Elemente der Probe ausgenützt. Die energiedispersive Röntgenanalyse gestattet die chemisch-analytische Identifizierung der einzelnen Elemente ab der Ordnungszahl 5 (Bor) bzw. Kohlenstoff (C) von mikroskopisch kleinen Einschlüssen, Phasen und Inhomogenitäten aller Art. Eine quantitative Elementbestimmung für einzelne Punkte (minimale Grösse ca. 1-2 µm), Linien oder Flächen ist möglich. Dabei kann die Informationstiefe bis zu einigen µm betragen.

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